一、硅材料清洗用超純水處理設備

所謂的硅材料，一般包括單晶硅、多晶硅、太陽能硅片電池以及半導體生產(chǎn)用的硅材料，這些產(chǎn)品中含有微量的污染就會導致元器件失效。清洗的雜質主要包括包括有機物和無機物。無論是那種雜質都會導致各種缺陷，因此，對于硅材料的清洗和生產(chǎn)必須使用超純水。綠健水處理所生產(chǎn)的超純水設備電阻率可達15-18兆歐，該設備采用先進的二級反滲透結合EDI電去離子水技術，完全替代了傳統(tǒng)的離子交換工藝，運行更穩(wěn)定，能夠連續(xù)不間斷地產(chǎn)水，而且無需提心水質排放有污染，污水處理的問題。

二、硅材料清洗用超純水處理設備的制取原理

超純水處理設備指采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備，用于制取超純水的機器，超純水最初是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當?shù)某R界精細技術生產(chǎn)出來的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為去離子水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.25MΩ*cm則稱為超純水。超純水設備行業(yè)水質標準超純水水質分為五個行業(yè)標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質。

三、硅材料清洗用超純水處理設備水中雜質的污染源

1、水源的影響

由于水是一種溶解能力很強的溶劑，因此天然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2，還有膠體(包括硅膠和腐殖質膠體)，天然水中還存在大量的非溶解性質，包括粘土、砂石、細菌、微生物、藻類、浮游生物、熱源等。

2、材料的影響

制備超純水的材料設備的材質都是用金屬和塑料制成的,金屬在水中會有痕量溶解，造成金屬離子污染。一些高分子材料，在合成時常常加入各種添加劑、增塑劑、紫外吸光劑、著色劑，也引入大量的金屬、非金屬雜質，同時還會帶來有機污染。

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