目前制備化工行業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來?，F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面：
  1、第一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對(duì)環(huán)境有一定的破壞性。
 2、第二種采用雙級(jí)反滲透設(shè)備，其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但無須樹脂再生。其缺點(diǎn)在于相關(guān)膜原件需定期清洗或更換，水質(zhì)相對(duì)來說不是太高，大都只能做到1us/cm左右，所以在不質(zhì)要求更高的時(shí)候常采用一級(jí)反滲透后面再用混床（陰陽復(fù)床）把關(guān)。
 3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水最經(jīng)濟(jì)，最環(huán)保的超純水制備工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對(duì)環(huán)境沒什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對(duì)以上兩種方式過于昂貴。

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